首页 - 新闻中心

与MEMS气泵共同构成内部腔体

作者:易倍emc穆里尼奥官方时间:2026-02-06浏览:来源:emc易倍下载

  国家知识产权局信息显示,常州元晶摩尔微电子有限公司申请一项名为“一种具备泵、阀的晶圆MEMS压力控制装置”的专利,公开号CN121408197A,申请日期为2025年12月。

  专利摘要显示,本发明提供了一种具备泵、阀的晶圆MEMS压力控制装置,涉及微机电系统(MEMS)及流体控制技术领域,包括单向止回阀、MEMS气泵及MEMS流体控制器,单向止回阀的顶部连接外部应用装置,单向止回阀的底部与MEMS气泵相连接,与MEMS气泵共同构成内部腔体,气泵的底部连接MEMS流体控制器。本发明采用一体化工艺,不需组装,工艺一致性好,且采用低成本制备方式,批量生产成本更低,有利于应用和推广,采用的PDMS预处理的共价键合以及Au-Sn的共晶键合均采用了低温工艺,成本低、可靠性高,通过结构设计,比泵+止回阀或泵+压力控制装置提供更好的工作能力。

  天眼查资料显示,常州元晶摩尔微电子有限公司,成立于2017年,位于常州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1100万人民币。通过天眼查大数据分析,常州元晶摩尔微电子有限公司共对外投资了1家企业,财产线条,此外企业还拥有行政许可11个。

  声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

  特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。

  网友拆机发现知名品牌空气炸锅温度旋钮不能调节,商家回应:那个是“装饰品”

  较强冷空气影响!广西将转为持续阴雨湿冷天气 局地降温超10℃ 阵风7~8级 还有冰冻和道路结冰

  “每天等电梯20多分钟!”杭城万人摇红盘业主忍痛卖房:家住40层,没有一天不闹心;家人不解:太可惜了